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深圳腾标电子科技有限公司 >> 产品供应 >> 爱德华QDP80真空泵维修 BOC EDWARDS PUMP
爱德华QDP80真空泵维修 BOC EDWARDS PUMP

爱德华QDP80真空泵维修 BOC EDWARDS PUMP

数量(台) 价格
1 40000元/台
  • 供货总量： 电议
  • 最小起订： 1台
  • 发货地址： 深圳
  • 付款方式： 面议
  • 发布日期：2014-03-04
  • 访问量：567
咨询电话：153-3650-8688
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深圳腾标电子科技有限公司

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  • 经营模式： 其他-私营有限责任公司
  • 所在地区：广东 深圳市
  • 家家通积分：295分
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详细参数
品牌 爱德华 规格型号 完善
编号 齐全 计量单位 1台
付款方式 面议 参考价格 40000
价格单位 人民币 供货量 不限
说明书，报价手册及驱动 暂无相关下载 其他资料下载 暂无相关下载
产地 本地 发货地 深圳

产品详情

 Edwards QDP80是一种四级，正排量的干式真空泵，应用范围包括等离子刻蚀，LPCVD，PECVD和MOCVD的Loadlock腔室以及溅射工艺。

 

规格参数：

Edwards  QDP80
项     目 参     数
Warm-Up Time 15 min
Inlet Connection ISO 63 Bolted
Outlet Connection NW40
Peak Speed 80 m3h-1
47 ft3min-1
Displacement 91.5 m3h-1
53.9 ft3min-1
Ultimate Vacuum 3 x 10-2 mbar
2.3 x 10-2 Torr
Power Input at vacuum 2.6 kW
Rated Motor Power 4.0 kW

 

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