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BOC Edwards IH600系列干泵在极端环境（颗粒，腐蚀物）下有着高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大气压和极限压力之间，无需润滑，这样就确保了油不会被反抽到系统中。IH600系统有一个HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系统适用于无风冷电机的洁净环境中。IH600干泵系统还拥有运送清洁气体进入HCDP泵的气体系统，适用于制程物严重的工艺中。使用在较低要求的工艺下可共同改变气体排放模式改变N2消耗量。通过显示终端可手动控制真空系统。另外，可以通过接口模块或即时通讯模块或IH单设备监控器使用其他控制设备去操作IH干泵系统。
半导体晶圆厂的应用包括：
LOADLOCK
传送
测量
光刻
物理气相沉积工艺
物理气相沉积预清洁
快速热退火退火
去胶
蚀刻
高密度等离子化学气相沉积
高密度等离子体化学气相沉积快速热处理
大气化学气相沉积sacvd
钨化学气相沉积
钨化学气相沉积
等离子体增强化学气相沉积
低压化学气相淀积。
规格参数：
| Edwards IH600 | |
| 项 目 | 参 数 |
| Inlet Connection | ISO 100 |
| Outlet Connection | NW40 |
| Peak Speed |
518 m3h1 8635 1min-1 305 CFM |
| Ultimate Vacuum |
2 x 10-3 mbar 1.5 x 10-3 Torr |
| Power Input at vacuum | 3.1 kW |
| Rated Motor Power | 5.1 kW |
| Weight | 913 kg/lbs. |
